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用途：該儀器專門用于硅單晶棒定向測量，與我公司生產的YX-5Z\6Z及多線切割設備配套使用，最大特點是，測量晶向后直接計算出晶棒的偏轉角，X和Y值，并對偏晶向的要求可進行準確計算出偏晶向的角度值。 結構：該儀器有X射線控制器、測角儀、記錄儀、電磁光閘、微機控制、鍵盤、輸入信息、屏幕菜單顯示、數據打印、角度顯示、峰值強度表等組成。計算軟件采用國際通常算法，以度為單位，顯示最小精度0.001度，測量精度±0.008度（±30〃），能夠測量直徑3～8英寸，長450㎜，測量晶面為111、100等。 型號： YX-5D為雙測角儀,一邊定向計算，一邊測片（8英寸）。 YX-5DA為單測角儀，定向計算。 主要參數：
電 源
220V 50HZ
功 率
0.5KV
管 電 壓
30KVP
管 電 流
0-5mA
晶棒直徑
3～8英寸
晶棒長度
400㎜
測量晶向
111、100
定向精度
0.008度（±30″）
角度顯示
以度為單位、最小讀數0.001度
射線窗口
電磁腳踏光閘
計算角度
α與β（X與Y）
尺 寸
長123×寬330×高1440
重 量
300㎏
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