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用途：該儀器專門用于硅單晶棒定向測量，與我公司生產(chǎn)的YX-5Z\6Z及多線切割設(shè)備配套使用，最大特點(diǎn)是，測量晶向后直接計(jì)算出晶棒的偏轉(zhuǎn)角，X和Y值，并對偏晶向的要求可進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)算出偏晶向的角度值。 結(jié)構(gòu)：該儀器有X射線控制器、測角儀、記錄儀、電磁光閘、微機(jī)控制、鍵盤、輸入信息、屏幕菜單顯示、數(shù)據(jù)打印、角度顯示、峰值強(qiáng)度表等組成。計(jì)算軟件采用國際通常算法，以度為單位，顯示最小精度0.001度，測量精度±0.008度（±30〃），能夠測量直徑3～12英寸，長500㎜，測量晶面為111、100等。 型號： YX-6D為單測角儀,定向計(jì)算。 YX-6DA為單測角儀，定向計(jì)算，全封閉防護(hù)罩。 主要參數(shù):
電 源
220V 50HZ
功 率
0.5KV
管 電 壓
30KVP
管 電 流
0-5mA
晶棒直徑
3～12英寸
晶棒長度
500㎜
測量晶向
111、100
定向精度
0.008度（±30″）
角度顯示
以度為單位、最小讀數(shù)0.001度
射線窗口
腳踏電磁光閘
計(jì)算角度
α與β（X與Y）
尺 寸
長830×寬950×高120
重 量
260㎏
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